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技術(shù)支持

ROSI600系列氧分析儀參數(shù)
更新時間:2021-09-29   點擊次數(shù):1782次

ROSI600系列氧分析儀主要在于滿足硅產(chǎn)業(yè)對于分析的低靈敏度和高精度的要求。一般通過力可固態(tài)紅外檢測系統(tǒng)的靈敏度與我們?nèi)略O(shè)計的進樣系統(tǒng)和可編程脈沖爐相結(jié)合。

ROSI600系列氧分析儀提供準確和精確的氧含量的結(jié)果,比如硅片材料中氧的分析結(jié)果。低靈敏度和高精度也被應(yīng)用到其他金屬工業(yè),比如電子工業(yè)中對高純度銅中氧含量的測定需求。

ROSI600系列氧分析儀特征

1、非色散固態(tài)紅外檢測器,高精度,高分辨率;

2、可編程通過功率及電流控制的脈沖電極爐;

3、分析精度及準確度精確至ppm級別;

4、低空白值,配置適合硅片進樣的進樣口;

5、配置具有安全保護性能的試劑容器;

6、儀器全新的氣路設(shè)計需要更少的維修;

7、氧含量輸入采用ppma格式;

ROSI600系列氧分析儀特點

試樣的進樣系統(tǒng)設(shè)計可連續(xù)樣品加載,低大氣空白和高載氣純度。在進樣系統(tǒng)的滑槽式的設(shè)計中,硅片可連續(xù)進樣。雙密封,磁加載機械機構(gòu)以及集成的氧/水氣捕集器,使得進樣系統(tǒng)實現(xiàn)零大氣污染,并保持更好的載氣氣體的純度。

ROSI600系列氧分析儀參數(shù)1、產(chǎn)地類別:進口;

2、測量范圍:碳:0-6.0%;硫:0-1.75%;

3、精度范圍:±1ppm或0.5%RSD;

4、靈敏度:碳:2 ppm、硫:2 ppm

5、測量原理:紅外吸收法;

6、加熱系統(tǒng):高頻爐。




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